Свой литограф: российские учёные совершили прорыв в сфере микроэлектроники
Учёные и инженеры разработали оборудование для производства наноструктур. Комплекс устройств включает установки для безмасочной нанолитографии и плазмохимического травления кремния, сообщил сайт Cnews.ru.
Первый аппарат позволяет получить изображение на подложке без необходимости применения маски. По словам создателей, технология стоит существенно меньше по сравнению с классической литографией, да и процесс занимает немного времени. Полностью автоматизированная установка оценена почти в пять миллионов рублей, тогда как иностранные аналоги несоизмеримо дороже. Их цена в рублях колеблется в диапазоне 10-13 миллиардов.
Созданный на первом этапе рисунок на подложке используется второй установкой для формирования наноструктур. Комплекс из двух установок может быть использован сразу в нескольких сферах производства. С его помощью можно увеличить срок эксплуатации радиолокационного оборудования более чем в 20 раз. Также его можно использовать в производстве солнечных батарей, наделив их способностью сохранять эффективность работы в любую погоду. При этом и вес, и габариты комплекса будут меньше существующих аналогов.
Пока Россия не может создавать микросхемы в соответствии с современными техпроцессами и остаётся на уровне выпуска 65-нанометровой топологии, устаревшей ещё 20 лет назад. И хотя сейчас в Зеленограде идёт строительство 28-нанометровой фабрики, мир уже перешёл на топологию в три нанометра. Задача российских учёных и инженеров – сократить столь серьёзное отставание. Первый отечественный литограф будет способен выпускать чипы по топологии семь нанометров, но полноценно работать такое оборудование сможет не ранее 2028 года.
